タイトルには超微細加工と銘打っておりますが、内容は半導体プロセスの
個々の工程に関する説明がなされており、半導体プロセスの入門書としては
良い内容です。
配属された新人ばかりの新人など、半導体にこれから携わる/携わっているが
製造プロセスをあまり知らない人には最適とおもいます。