【セブン-イレブンで24時間受取りOK・送料0円！】 著者／訳者名：伊藤洋／著 出版社名：共立出版 シリーズ名：高分子先端材料Ｏｎｅ　Ｐｏｉｎｔ　１０ 発行年月：2005年02月 関連キーワード：レジスト　ザイリヨウ　コウブンシ　センタン　ザイリヨウ　ワン　ポイント　１０ れじすと　ざいりよう　こうぶんし　せんたん　ざいりよう　わん　ぽいんと　１０、 キヨウリツ　シユツパン　キヨウリツシユツパン　１３７１ きようりつ　しゆつぱん　きようりつしゆつぱん　１３７１、 キヨウリツ　シユツパン　キヨウリツシユツパン　１３７１ きようりつ　しゆつぱん　きようりつしゆつぱん　１３７１ 高分子材料“レジスト”は電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。その開発の第一人者が歴史・現在・未来を語る。 第１章　リソグラフィ技術による微細加工とレジスト（レジストとは何か？レジストの分類レジストに要求される性能と特性評価法）第２章　レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史（架橋ネガ型レジス