電子線技術は日本の得意分野と言われていますが、今まで日本語の良い本がありませんでした。この本は産業界の一線で電子線リソグラフィを活用されている方々による電子線リソグラフィの教科書です。内容は極めて実践的で2007年段階での最新技術状況が書かれています。その分理論的な記述はあまりありませんが、研究機関で電子線描画装置を使われている方はもちろん、半導体メーカのエンジニア、装置ベンダー、レジストメーカーの研究者・技術者の方にすぐに役立つと思います。